提高特種氣體穩(wěn)定性
為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期,天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù),以1小化任何局部活性位點(diǎn)在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。EIGA 161/16第11段概述了一些常用技術(shù)。它建議:
“氣瓶應(yīng)通過適當(dāng)?shù)募訜岷统檎婵栈蚱渌刃Х椒ㄟM(jìn)行干燥。應(yīng)盡量減少氣瓶中的水分,并通過分析或其他方法確定濃度。“
這可以通過以下方式實(shí)現(xiàn):
將惰性干燥氣體引入氣缸中,壓力約為10 barg
在幾個小時內(nèi)讓氣體與氣瓶平衡
測量存在的水分濃度,特種氣體公司,和
重復(fù)該過程直至達(dá)到所需的干燥程度。

特種氣體 (Specialty gases) :指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,特種氣體批發(fā), 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。化工特種氣體在不同的情況下是不一樣的,一般而言是氧氣,氮?dú)猓趸迹靼蔡胤N氣體,氫氣等。特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì),它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。

1、特種氣體 specialily gas
用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
2、特種氣體系統(tǒng) speciality gas system
特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場的特種氣體的儲存、輸送與分配全過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。
3、特種氣體間 speciality gas room
是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備,并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。

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